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压电陶瓷功率放大器在物镜驱动测试中的研究

发布:2019-07-26

压电驱动目前已经广泛的应用于微电子和精密机械领域,为了发挥压电陶瓷物镜驱动器的高精度和高响应速度的特点,控制技术是控制系统的核心,压电驱动功率放大器采用压电陶瓷控制技术进行显微镜物镜驱动,可以高精度地实现显微镜物镜与载物台之间的相对步进微位移。

在数字共焦显微技术中,为了获取精确的等间隔生物细胞序列切片图像,需通过驱动显微镜物镜与载物台之间数十纳米的相对步进微位移来进行采集。采用压电陶瓷控制技术进行显微镜物镜驱动,实现物镜和载物台的相对步进位移。由于通过信号控制步进电机驱动机械装置的过程中,机械结果内部和接触面存在一定的间隙,其精度只能达到数百微米。所以为了包子显微镜驱动采集细胞切片的精度,采用压电陶瓷构成的物镜驱动。

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